21世纪经济报道记者张赛男实习生杨帆上海报道

每年的SEMICON CHINA展会是半导体界的盛会，今年的SEMICON依旧吸引了全球半导体顶级行业领袖、国内外产业巨头和新兴企业。其中，首次公开亮相的深圳市新凯来技术有限公司是展会“人气王”。

3月26日-28日，SEMICON CHINA 2025在上海新国际博览中心进行。3月28日，21世纪经济报道记者到访当日，新凯来的展台仍被围得水泄不通。

走进新凯来的展台，其C位聚焦着两大核心板块：左边是半导体工艺装备，包含了刻蚀、扩散以及薄膜产品；右边则是量检测设备，包含光学量检测设备以及PX量测和功率检测产品。

具体来看，新凯来本次展出了数十款自主研发的半导体设备，覆盖半导体制造全流程。

在工艺装备方面，新凯来展示了扩散装备RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蚀产品ETCH（武夷山）；薄膜产品PVD（普陀山）、CVD（长白山(603099)）、ALD（阿里山）。

在量检测装备方面，展示了光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI；光学量测产品天门山IBO、天门山DBO；PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

21世纪经济报道记者观察到，每块展板的下面都展示着部分半导体设备的1：15的模型，比如赤壁山-XP、岳麓山、三清山1号等，这些设备模型可以帮助观众更加直观地了解此类半导体设备。

在展台外围，大屏幕上循环播放着新凯来的介绍宣传片，从研发面对的挑战等进行了详细介绍。现场观众也十分关注新凯来的表现，在展会场地上围成弧形观看、拍摄，火爆程度一度使展会部分交通“瘫痪”。

在众多设备产品中，刻蚀及薄膜产品最受欢迎。而这两大展台的持续火热，恰恰折射出半导体制造的痛点：刻蚀精度决定芯片性能天花板，薄膜质量影响芯片的性能、可靠性和成本。

新凯来究竟是何方神圣？

据其官网介绍，公司致力于半导体装备及零部件、电子制造设备的研发、制造、销售与服务。公司核心团队具备20年以上电子设备技术开发经验，并联合了众多国内半导体制造设备和零部件合作伙伴，为国内半导体设备厂、FAB厂、电子电器设备厂、研究机构提供先进的解决方案，相关产品广泛应用于国内顶级制造企业和研究、测试机构。

企查查数据显示，新凯来成立于2021年8月，注册资本15亿元，由深圳市深芯恒科技投资有限公司100%持股，股权穿透后，由深圳市国资委全资控股。

SEMICON China 2025 IC产业链国际论坛上，新凯来工业机器有限公司工艺装备产品线总裁杜立军介绍，AI、智能驾驶等产业对算力需求及增长，推动半导体装备市场稳步增长。装备新技术演进方向是更高能量控制精度、更快硬件响应速度、更大工艺窗口，以射频/等离子体场为例，预计从7纳米到3纳米的演进过程中，会有10倍的能量控制精度提升，时延从10毫秒缩短到1毫秒的硬件响应速度提升。

目前新凯来基于一代工艺、一代材料、一代装备的设计理念，已经开发了刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测产品、X射线量测产品、光学量检测产品6大类工艺和量检测装备，覆盖先进逻辑和存储，支持向更先进节点演进。